光學(xué)膜厚測(cè)量?jī)x測(cè)量原理如下：在測(cè)量的wafer或glass上面的薄膜上垂直照射可視光，這時(shí)光的一部分在膜的表面反射，另一部分透進(jìn)薄膜，然后在膜與底層 (晶圓或玻璃)之間的界面反射。這時(shí)薄膜表面反射的光和薄膜底部反射的光產(chǎn)生干涉現(xiàn)象。光學(xué)薄膜測(cè)厚儀就是利用這種干涉現(xiàn)象來(lái)測(cè)量薄膜厚度的儀器。

　　儀器的光源使用鎢絲燈，波長(zhǎng)范圍是400 nm~800 nm。從ST2000到ST7000使用這種原理，測(cè)量面積的直徑大小是4μm ~ 40μm (2μm ~ 20μm optional)。ST8000-Map作為K-MAC (株) 主要的產(chǎn)品之一，有影像處理的功能，是超越一般薄膜厚度測(cè)量?jī)x器的新概念上的厚度測(cè)量?jī)x器。測(cè)量面積的zui小直徑為0.2μm，遠(yuǎn)超過(guò)一般厚度測(cè)量?jī)x器的測(cè)量jixian (4μm)。順次測(cè)量數(shù)十個(gè)點(diǎn)才能得到的厚度地圖也可一次測(cè)量得到，使速度和度都大大提高。

　　光學(xué)膜厚測(cè)量?jī)x特性：

　　a.測(cè)量膜厚和折射率，膜厚重復(fù)精度達(dá)１納米，折射率重復(fù)精度達(dá)0.01；

　　b.有配氣浮平臺(tái)便于移動(dòng)大片玻璃；

　　c.質(zhì)量控制,生產(chǎn)過(guò)程控制；

　　d.用于檢測(cè)太陽(yáng)能AR減反膜玻璃生產(chǎn)線中整片玻璃的在線檢測(cè)或離線抽檢。

　　2.光學(xué)膜厚測(cè)量?jī)xAR2 –ONLINE配套軟件特性：

　　a.菜單管理；

　　b.實(shí)時(shí)在線或離線抽檢監(jiān)控和歷史數(shù)據(jù)界面；

　　c.輸出至SQL服務(wù)器；小型內(nèi)置式SQL；

　　d.光學(xué)膜厚測(cè)量?jī)x可根據(jù)客戶(hù)要求定制界面。