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借助F54-XYT-300薄膜厚度測量儀的光譜反射系統(tǒng)，可以快速輕松地測量200 x 200mm樣品的薄膜厚度電動XY工作臺自動移動到選定的測量點并提供快速的厚度測量，達到每秒兩點。您可以從數(shù)十種預定義的極性，矩形或線性測量坐標圖案中選擇，也可以創(chuàng)建自己編輯的不受限制的測量點數(shù)量。此桌面系統(tǒng)只需幾分鐘即可完成設置，任何具有基本計算機技能的人都可以使用。

型號：F54-XYT-300

更新日期：2024-07-24

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借助F54-XY-200薄膜厚度測量儀光譜反射系統(tǒng)，可以輕松地測量尺寸達200 x 200mm樣品的薄膜厚度電動XY工作臺自動移動到選定的測量點并提供厚度測量，達到每秒兩點。您可以從數(shù)十種預定義的極性，矩形或線性測量坐標圖案中選擇，也可以創(chuàng)建自己編輯的測量點數(shù)量。此桌面系統(tǒng)只需幾分鐘即可完成設置，任何具有基本計算機技能的人都可以使用。

型號：F54-XY-200

更新日期：2024-07-24

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HORIBA 一鍵式全自動快速橢偏儀是新型的全自動薄膜測量分析工具。采用工業(yè)化設計，操作簡單，可在幾秒鐘內完成全自動測量和分析，并輸出分析報告。是用于快速薄膜測量和器件質量控制理想的解決方案。

型號：Auto SE

更新日期：2023-08-22

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HORIBA 智能型多功能橢偏儀，多功能性設計，配置靈活，具備多角度測量能力，可方便實現(xiàn)在線與離線配置切換。是一款針對單層和多層薄膜進行簡單，快速，表征和分析的工具。

型號：Smart SE

更新日期：2023-06-06

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HORIBA 研究級經(jīng)典型橢偏儀是一種無損無接觸的光學測量技術，基于測量線偏振光經(jīng)過薄膜樣品反射后偏振狀態(tài)發(fā)生的改變，通過模型擬合后得到薄膜、界面和表面粗糙層的厚度以及光學性質等等，可測厚度范圍為幾埃至幾十微米。此外，還可以測試材料的反射率及透過率。

型號：UVISEL Plus

更新日期：2023-06-06

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-Filmetrics光學膜厚測量儀：F32的光譜分析系統(tǒng)采用半寬的3U rack-mount底盤，加上附加的分光計，可達到四個不同的位置（EXR和UVX版本多兩個位置）。F32軟件可以通過數(shù)字I/O或主機軟件來控制啟動/停止/復位測量。測量數(shù)據(jù)可以自動導出到主機軟件中進行統(tǒng)計過程控制。Filmetrics還提供可選的透鏡組件，以便于集成到現(xiàn)有的生產(chǎn)裝置上。

型號：F32

更新日期：2024-07-24

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Film Sense FS-1™多波長橢偏儀采用壽命長 LED 光源和非移動 式部件橢偏探測器，可在操作簡單的緊湊型橢偏儀中實現(xiàn)快速和可靠地薄膜測量。大多數(shù)厚度 0–1000 nm 的透明薄膜只需要簡單的 1 秒測量，就 可以獲得非常精密和的數(shù)據(jù)。

型號：Film Sense FS-1

更新日期：2023-07-24

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-Filmetrics膜厚測量儀 F60-t 系列就像我們的 F50產(chǎn)品一樣測繪薄膜厚度和折射率，但它增加了許多用于生產(chǎn)環(huán)境的功能。 這些功能包括凹槽自動檢測、自動基定、全封閉測量平臺、預裝軟件的工業(yè)計算機，以及升級到全自動化晶圓傳輸?shù)臋C型。

型號：F60

更新日期：2023-06-05

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