薄膜厚度測(cè)量?jī)x的優(yōu)點(diǎn)和使用注意事項(xiàng)是什么?
2020-04-16
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薄膜厚度測(cè)量?jī)x作為一種測(cè)量膜層厚度的儀器,在很多的行業(yè)領(lǐng)域都得到了廣泛的應(yīng)用,尤其是薄膜厚度測(cè)量?jī)x,因?yàn)闇y(cè)量精度高、非接觸方、無(wú)須破壞樣品等優(yōu)點(diǎn),受到眾多企業(yè)用戶和高校老師的喜愛(ài),今天主要對(duì)薄膜厚度測(cè)量?jī)x做個(gè)簡(jiǎn)單介紹。
一、薄膜厚度測(cè)量?jī)x的優(yōu)點(diǎn)
1、非接觸式測(cè)量
薄膜厚度測(cè)量?jī)x采用的原理是通過(guò)光的反射原理對(duì)膜層厚度進(jìn)行測(cè)量,屬于非接觸式測(cè)量方法,不會(huì)對(duì)樣品造成任何損傷,能夠樣品的完整性。
2、測(cè)量數(shù)據(jù)多樣
可以測(cè)得物體的膜厚度和n,k數(shù)據(jù),這是其它類型的膜厚儀所不具備的特點(diǎn)。
3、測(cè)量快速
薄膜厚度測(cè)量?jī)x的測(cè)量過(guò)程非??焖伲?yàn)樵撛O(shè)備采用了的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),能夠極大程度的提升測(cè)量效率,相比于其他類型膜厚測(cè)量設(shè)備來(lái)說(shuō)顯得非常輕巧方便。
4、適用范圍廣
薄膜厚度測(cè)量?jī)x的適用范圍非常廣泛,從普通家用到工廠的工業(yè)生產(chǎn),再到大學(xué)實(shí)驗(yàn)室和科學(xué)研究所,都可以看到它的身影,由此可見(jiàn)它的使用范圍廣泛,能夠作業(yè)的場(chǎng)合也變得更加多樣化。
二、薄膜厚度測(cè)量?jī)x的使用注意事項(xiàng)
1、零點(diǎn)校準(zhǔn)
在每次使用膜厚儀之前需要進(jìn)行光學(xué)校準(zhǔn),因?yàn)橹暗臏y(cè)量參數(shù)會(huì)影響該次對(duì)物體的測(cè)量,零點(diǎn)校準(zhǔn)可以消除前次測(cè)量有參數(shù)的影響,能夠降低測(cè)量的結(jié)果的誤差,使測(cè)量結(jié)果更加。
2、基體厚度不宜過(guò)薄
在使用薄膜厚度測(cè)量?jī)x對(duì)物體進(jìn)行測(cè)量時(shí)基體不宜過(guò)薄,否則會(huì)極大程度的影響儀器的測(cè)量精度,造成數(shù)據(jù)結(jié)果不,影響測(cè)量過(guò)程的正常進(jìn)行。
3、物體表面粗糙程度
對(duì)于被測(cè)物體的表面不宜太過(guò)粗糙,因?yàn)榇植诘谋砻嫒菀滓鸸獾难苌?,降低了薄膜厚度測(cè)量?jī)x的測(cè)量精度,造成很大的誤差。所以被測(cè)物體的表面應(yīng)該盡量保持光滑,以測(cè)量結(jié)果的性。