臺(tái)階儀相關(guān)知識(shí)科普

優(yōu)尼康微課堂：什么是臺(tái)階儀？

臺(tái)階儀屬于接觸式表面形貌測(cè)量?jī)x器，也叫探針式表面輪廓儀。臺(tái)階儀測(cè)量精度較高、量程大、測(cè)量結(jié)果穩(wěn)定可靠、重復(fù)性好,被廣泛應(yīng)用在各行各業(yè)。

測(cè)量原理：

當(dāng)觸針沿被測(cè)表面輕輕滑過(guò)時(shí)，由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時(shí)，還沿峰谷作上下運(yùn)動(dòng)。觸針的運(yùn)動(dòng)情況就反映了表面輪廓的情況。

臺(tái)階儀性能優(yōu)劣取決于以下三個(gè)方面：

測(cè)試重復(fù)性、測(cè)試速度以及操作難易程度。這些因素決定了實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的質(zhì)量和實(shí)驗(yàn)操作的效率。

在這以我們優(yōu)尼康提供的一款KLA臺(tái)階儀為例，簡(jiǎn)單介紹下，

型號(hào)：P-17

支持從幾納米到一毫米的臺(tái)階高度測(cè)量，適用于生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)境。

P-17是第八代臺(tái)式探針輪廓儀，是40多年的表面量測(cè)經(jīng)驗(yàn)的結(jié)晶。該系統(tǒng)支持對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測(cè)量，其掃描可達(dá)200mm而無(wú)需圖像拼接。

該系統(tǒng)結(jié)合了UltraLite®傳感器、恒力控制和超平掃描平臺(tái)，因而具備的測(cè)量穩(wěn)定性。 通過(guò)式平臺(tái)控制、頂視和側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)以及帶光學(xué)變焦的高分辨率相機(jī)等功能，程序設(shè)置簡(jiǎn)便快速。

P-17具備用于量化表面形貌的各種濾鏡、調(diào)平和分析算法，可以支持2D或3D測(cè)量。 并通過(guò)圖案識(shí)別、排序和特征檢測(cè)實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測(cè)量。