Filmetrics 光學(xué)膜厚測(cè)量?jī)x
簡(jiǎn)要描述:Filmetrics 光學(xué)膜厚測(cè)量?jī)x依靠 F60 的光譜測(cè)量系統(tǒng),可以很簡(jiǎn)單快速地獲得薄膜的厚度分布圖。 采用 r-θ 極坐標(biāo)移動(dòng)平臺(tái),可以非常快速的定位所需測(cè)試的點(diǎn)并測(cè)試厚度,測(cè)試非??焖?,大約每秒能測(cè)試兩點(diǎn)。用戶可以自己繪制需要的點(diǎn)位地圖。 在約 45 秒的時(shí)間就可以掃描完標(biāo)準(zhǔn) 49 點(diǎn)分布圖
- 產(chǎn)品型號(hào):F60-t
- 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間:2024-08-08
- 訪 問 量:3247
F60薄膜厚度測(cè)量?jī)x
生產(chǎn)環(huán)境的自動(dòng)測(cè)繪
Filmetrics F60-t 系列就像我們的 F50產(chǎn)品一樣測(cè)繪薄膜厚度和折射率,但它增加了許多用于生產(chǎn)環(huán)境的功能。 這些功能包括凹槽自動(dòng)檢測(cè)、自動(dòng)基定、全封閉測(cè)量平臺(tái)、預(yù)裝軟件的工業(yè)計(jì)算機(jī),以及升級(jí)到全自動(dòng)化晶圓傳輸?shù)臋C(jī)型。
不同的 F60-t 儀器根據(jù)波長(zhǎng)范圍加以區(qū)分。 較短的波長(zhǎng) (例如, F60-t-UV) 一般用于測(cè)量較薄的薄膜,而較長(zhǎng)的波長(zhǎng)則可以用來測(cè)量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。
選擇Filmetrics的優(yōu)勢(shì)
• 桌面式薄膜厚度測(cè)量
• 24小時(shí)電話,郵件和在線支持
• 所有系統(tǒng)皆使用直觀的標(biāo)準(zhǔn)分析軟件
附加特性
• 嵌入式在線診斷方式
• 免費(fèi)離線分析軟件
• 精細(xì)的歷史數(shù)據(jù)功能,幫助用戶有效存儲(chǔ),重現(xiàn)與繪制測(cè)試結(jié)果
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