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Filmetrics 自動光反射膜厚測量儀

簡要描述:Filmetrics F60-t 自動光反射膜厚儀就像我們的F50白光干涉膜厚測量儀產(chǎn)品一樣。主要測繪薄膜厚度和折射率。但它增加了許多用于生產(chǎn)環(huán)境的功能。這些功能包括凹槽自動檢測、自動基準(zhǔn)確定、全封閉測量平臺、預(yù)裝軟件的工業(yè)計(jì)算機(jī),以及可以升級到全自動化晶圓傳輸?shù)臋C(jī)型。

  • 產(chǎn)品型號:F60-t
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時間:2025-06-25
  • 訪  問  量:2661
產(chǎn)品詳情

Filmetrics F60-t 自動光反射膜厚儀




Filmetrics F60-t 自動光反射膜厚儀產(chǎn)品介紹:

Filmetrics F60-t 自動光反射膜厚儀就像我們的F50白光干涉膜厚測量儀產(chǎn)品一樣。主要測繪薄膜厚度折射率。但它增加了許多用于生產(chǎn)環(huán)境的功能。這些功能包括凹槽自動檢測、自動基準(zhǔn)確定、全封閉測量平臺、預(yù)裝軟件的工業(yè)計(jì)算機(jī),以及可以升級到全自動化晶圓傳輸?shù)臋C(jī)型。



Filmetrics F60-t 自動光反射膜厚儀特點(diǎn)優(yōu)勢:

  • 自動化薄膜厚度繪圖系統(tǒng),快速定位、實(shí)時獲得結(jié)果;

  • 可測樣品膜層:基本上光滑的。非金屬的薄膜都可以測量;

  • 所有系統(tǒng)皆使用直觀的標(biāo)準(zhǔn)分析軟件;

  • 凹槽自動檢測

  • 自動基準(zhǔn)確定

  • 全封閉測量平臺


Filmetrics F60-t 自動光反射膜厚儀產(chǎn)品測量原理:

當(dāng)入射光穿透不同物質(zhì)的界面時將會有部分的光被反射,由于光的波動性導(dǎo)致從多個界面的反射光彼此干涉,從而使反射光的多波長光譜產(chǎn)生震蕩的現(xiàn)象。從光譜的震蕩頻率,可以判斷不同界面的距離進(jìn)而得到材料的厚度(越多的震蕩代表越大的厚度),同時也能得到其他的材料特性如折射率與粗糙度。



Filmetrics F60-t 自動光反射膜厚儀產(chǎn)品應(yīng)用:

半導(dǎo)體膜層

顯示技術(shù)

消費(fèi)電子

派瑞林

光刻膠

OLED

防水涂層

電子產(chǎn)品/電路板

介電層

ITO和TCOs

射頻識別

磁性材料

砷化鎵

空氣盒厚

太陽能電池

醫(yī)學(xué)器械

微機(jī)電系統(tǒng)

PVD和CVD

鋁制外殼陽極膜

硅橡膠



Filmetrics F60-t 自動光反射膜厚儀產(chǎn)品參數(shù):

波長范圍:

190nm-1340nm

光源:

鎢鹵素?zé)?/span>

光斑大小:

標(biāo)準(zhǔn)1.5毫米(最小可達(dá)150μm)

測量精度:

0.02nm1

準(zhǔn)確度*:取較大者

1nm或0.2%

穩(wěn)定性:

0.05nm3

更多參數(shù)可聯(lián)系我們獲取



Filmetrics F60-t 自動光反射膜厚儀測量圖:




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