Film Sense FS-1多波長橢偏儀

  Film Sense FS-1多波長橢偏儀采用壽命長 LED 光源和非移動 式部件橢偏探測器，可在操作簡單的緊湊型橢偏儀中實(shí)現(xiàn)可靠地薄膜測量。大多數(shù)厚度 0–1000 nm 的透明薄膜只需要簡單的 1 秒測量，就可以獲得準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)。還可以測量大多數(shù)樣品的光學(xué)常數(shù)和其他薄膜特性。

  Film Sense FS-1多波長橢偏儀 這款功能多波長橢偏儀，售價只是單一波長橢偏儀和光譜橢偏儀的中等水平。FS-1可應(yīng)用于研究實(shí)驗(yàn)室，超凈間，原位工藝腔體以及工業(yè)質(zhì)量控制等諸多領(lǐng)域。

主要特點(diǎn)

• 4 個 LED 光源：藍(lán)色（465nm），綠色（525nm）， 黃色（580nm），紅色（635nm）

• 橢偏儀探測器中無可移動部件

• 良好的膜厚精密性，大多數(shù)樣品精密度高于 0.001nm（1 秒獲取數(shù)據(jù)），對于亞單原子薄膜精密度等于0.001nm

• 集成計(jì)算機(jī)，可實(shí)現(xiàn)對設(shè)備控制和數(shù)據(jù)分析，自帶瀏覽器界面，可兼容任何現(xiàn)代計(jì)算機(jī)，筆記本或平板電腦

優(yōu)勢

• 壽命長（長達(dá)50,000小時），更換 LED 燈便宜，校準(zhǔn)時間短或無需PM程序

• 快速測量（10ms 內(nèi)獲得多波長數(shù)據(jù)）和長期性能穩(wěn)定

• 測量精確，橢偏儀可以實(shí)現(xiàn)

• 軟件設(shè)置和維護(hù)簡單

標(biāo)準(zhǔn) FS-1 配置

• 65°入射角

• 手動放置樣品和調(diào)節(jié)高度

• 樣品尺寸直徑200mm 和厚度23mm

• 樣品偏轉(zhuǎn)范圍+/-20

• 樣品上光束尺寸 5 x 12 mm

• 結(jié)構(gòu)緊湊(180 x 400 mm) 和輕巧(4.8 kg)

性能

    FS-1多波長橢偏儀擅長測量膜厚范圍 0-1000nm 的透明單一薄膜的厚度和折射率。下表列出的是針對各種不同樣品，包括多層膜樣品，F(xiàn)S-1獲得的標(biāo)準(zhǔn)測量精密度和準(zhǔn)確性數(shù)據(jù)。

應(yīng)用領(lǐng)域

• 半導(dǎo)體行業(yè)：二氧化硅和氮化物，高介電和低介電材料，非晶和多晶材料，硅薄膜，光刻膠

• 光學(xué)薄膜行業(yè)：高和低指數(shù)薄膜，如 SiO2, TiO2, Ta2O5, MgF2 等

• 顯示屏行業(yè)：TCO（如 ITO），非晶硅薄膜，有機(jī)薄 膜（OLED 技術(shù)）

• 數(shù)據(jù)存儲行業(yè)：寶石，如碳膜

• 工藝研發(fā)：原位表征薄膜沉積（速率和光學(xué)常數(shù)） VS 工藝條件，可兼容 MBE, MOCVD, ALD 和磁控濺射等設(shè)備

• 化學(xué)和生物：在液體細(xì)胞實(shí)驗(yàn)中探測亞單原子層材料吸附

• 工業(yè)：在線監(jiān)測和控制膜厚

In Situ 在線測量功能

• 亞單原子膜厚精密度

• 多工藝條件下測定薄膜光學(xué)常數(shù) n&k 和沉積速率，不會破壞真空

• 監(jiān)測和控制多層膜結(jié)構(gòu)沉積

• FS-API 界面，外置軟件控制（兼容 LabVIEW ）

• 兼容大多數(shù)薄膜沉積技術(shù)：磁控濺射，ALD，MBE，MOCVD，電子束蒸發(fā)等

In Situ在線測量

    產(chǎn)品包括 FS-1多波長橢偏儀，帶緊湊自動mapping樣品臺，可以實(shí)現(xiàn)快速，準(zhǔn)確和可靠的薄膜均勻性測量。

特點(diǎn)和參數(shù)

• 4 段波長的橢偏數(shù)據(jù)（465, 525, 580, 635 nm），壽命長的LED光源，探測器內(nèi)無可移動部件

• 可對 0-1000nm 透明薄膜進(jìn)行準(zhǔn)確的厚度測量

• 標(biāo)準(zhǔn)濃厚重復(fù)性 0.015 nm

• 集成聚焦探針，標(biāo)準(zhǔn)光斑尺寸 0.8 x 1.9 mm （其他尺寸 可選）

• 電動 Z 軸樣品臺自動準(zhǔn)直

• 靈活掃描圖案編輯器

• 測量參數(shù)等值線繪制

聚焦光束選件

樣品上光束尺寸減小到 0.8 x 1.9 mm 或 0.3 x 0.7 mm

聚焦光束檢測

聚焦光束檢測系統(tǒng)包括一個 FS-1 多波長橢偏儀，帶光束聚焦光學(xué)器件和一個手動位移臺。該系統(tǒng)非常適合用于手動檢測和在圖案化半導(dǎo)體晶圓上進(jìn)行質(zhì)量控制測量。

可進(jìn)行科研測量，帶小尺寸光斑和相機(jī)成像功能

手動位移臺，可容納 4’，5’，6’晶圓

樣品上光束尺寸 0.3 x 0.7 mm

樣品上光束位置視頻圖像

FS-XY150

標(biāo)準(zhǔn)晶圓 map 時間：60s（150mm 晶圓上取 49 個點(diǎn)）

結(jié)構(gòu)緊湊：600x600 mm, 16 kg

樣品臺行程（X,Y）：150 x 150 mm, 精度：5 μm

FS-RT300

• 標(biāo)準(zhǔn)晶圓 map 時間：90s（300mm 晶圓上取 49 個點(diǎn)）

• 結(jié)構(gòu)緊湊：400x500 mm, 22 kg

• 樣品臺行程：R (線性) ：150 mm, 精度：12 μm

• 角度（旋轉(zhuǎn)）360°，精度：0.1°